上证报我国证券网讯 据必联网5月23日发布的中标成果公告显现，万业企业旗下嘉芯迦能的双焚烧+双水洗尾气处理设备中标特征工艺生产线年下半年开端，万业企业子公司嘉芯半导体屡次中标多款设备，包括氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜堆积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜堆积设备（PECVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学堆积设备（SACVD）、钛/氮化钛堆积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）以及快速热处理（RTP）等。

  万业企业继续支撑国产设备的生长与研制，以自主研制与外延式并购双轮驱动战略布局半导体设备资料赛道。现在，公司旗下的凯世通和嘉芯半导体已叠加构成多个半导体前道中心设备产品线，事务掩盖离子注入机、刻蚀机、薄膜堆积、快速热处理等多类设备。公司以国内独有的“1+N”半导体设备渠道公司的多品类赛道，致力于推进我国集成电路工业的蝶变跃升。（高志刚）